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SEMI F57认证

01 什么是SEMI F57认证?

SEMI F57用于超纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及其组件规格,是直接从材料选择、生产过程、产品结构设计等方方面面进行规范和建议的文件。

F05700 - SEMI F57 - Specification for Polymer Materials and Components Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems

针对的产品类别

在半导体超纯水和液态化学品传送系统中的聚合物材料、组件及过程设备;

管道、配件、阀门、过滤壳体、压力传感器、流量计、计量器、校准器;

 

02 SEMI F57测试项目

SEMI F57 测试需要测试产品的4类参数:

1)阴离子污染 

2)金属离子污染 

3)总有机碳 

4)表面粗糙度

 

需要测试的产品品类:

待测样品类型

阴离子

金属离子

总有机碳TOC

表面粗糙度

小球




小球的表面积可以通过SEMI C69来算

气动阀

电磁阀

手动阀

截止阀

流量计:无运动部件

流量计:有运动部件

流量控制器

气动调节器

手动调节器

管子

过滤器外壳

除气模块


量具保护


连接件


过滤器

管道

Tank/Vessels/drums#3

不能用F40制样

传感器:有移动部件


传感器:无移动部件


 

    测试必须使用完善技术以及设备。ECMG拥有国内最具经验的SEMI团队,拥有符合semi F57要求的测试设备,且经验丰富的工程人员,根据SEMI F57标准协助厂商完成相关测试。所有测试及技术支持都在本地完成,可以第一时间响应客户的要求。